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硅料大的分电子级和太阳能级，国内基本都是太阳能级。太阳能级硅在半导体工业上主要有Siemens和流化床FBR(Fludized Bed Ractor)来制备高纯多晶硅材料,Siemens采用高纯SiHCl3作为原料，而FBR是采用SiH4为原料。太阳能级又有原生多晶硅料、原生单晶硅料。

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