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型号:156.75*156.75和166*166单晶硅片

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156.75*156.75单晶硅片:

一般特征

参数

 产品

 单晶硅片

 晶体生长方法

 直拉法

 导电类型

 P 

 掺杂剂

 镓

 电阻率

 0.4-1.1 Ω.cm

 氧含量

 ≤ 8E + 17 at/cm 3

 碳含量

 ≤ 4E + 16 at/cm 3

结构特征

参数

 宽度

 156.75 ± 0.25 mm

 倒角对角线

 210 ± 0.25 mm

 厚度

 180 ± 20 μm

机械特性

参数

 总厚度变化

 ≤ 30 μm

 弯曲度

 ≤ 40 μm

 表面

 无缺陷

 锯痕

 ≤ 15 μm


166*166单晶硅片:

一般特征

参数

 产品

 单晶硅片

 晶体生长方法

 直拉法

 导电类型

 P 

 掺杂剂

 镓

 电阻率

 0.4-1.1 Ω.cm

 氧含量

 ≤ 8E + 17at/cm 3

 碳含量

 ≤ 4E + 16 at/cm 3

结构特征

参数

 宽度

 166 ± 0.25 mm

 倒角对角线

 223 ± 0.25 mm

 厚度

 180 ± 20 μm

机械特性

参数

 总厚度变化

 ≤ 30 μm

 弯曲度

 ≤ 40 μm

 表面

 无缺陷

 锯痕

 ≤ 15 μm