156.75*156.75单晶硅片:
一般特征 | 参数 |
产品 | 单晶硅片 |
晶体生长方法 | 直拉法 |
导电类型 | P 型 |
掺杂剂 | 镓 |
电阻率 | 0.4-1.1 Ω.cm |
氧含量 | ≤ 8E + 17 at/cm 3 |
碳含量 | ≤ 4E + 16 at/cm 3 |
结构特征 | 参数 |
宽度 | 156.75 ± 0.25 mm |
倒角对角线 | 210 ± 0.25 mm |
厚度 | 180 ± 20 μm |
机械特性 | 参数 |
总厚度变化 | ≤ 30 μm |
弯曲度 | ≤ 40 μm |
表面 | 无缺陷 |
锯痕 | ≤ 15 μm |
166*166单晶硅片:
一般特征 | 参数 |
产品 | 单晶硅片 |
晶体生长方法 | 直拉法 |
导电类型 | P 型 |
掺杂剂 | 镓 |
电阻率 | 0.4-1.1 Ω.cm |
氧含量 | ≤ 8E + 17at/cm 3 |
碳含量 | ≤ 4E + 16 at/cm 3 |
结构特征 | 参数 |
宽度 | 166 ± 0.25 mm |
倒角对角线 | 223 ± 0.25 mm |
厚度 | 180 ± 20 μm |
机械特性 | 参数 |
总厚度变化 | ≤ 30 μm |
弯曲度 | ≤ 40 μm |
表面 | 无缺陷 |
锯痕 | ≤ 15 μm |